ShinJaeYou
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유신재
플라즈마 물리를 기반으로 한 플라즈마 장비 개발 및 플라즈마 응용 기술 등의 분야를 연구합니다.
연구분야
· Plasma Physics in plasma processing· · Development and Analysis of Plasma Diagnostics · Development and Analysis of Plasma Sources for plasma processing
연구내용
· Process Chamber 실시간 0.1mTorr 이상 Leak 감지 기술개발, 한국산업기술평가관리원(2022.04.~2024.12.) · Plasma Simulation 및 Monitoring 를 통한 진단기술 개발, SK하이닉스(2022.08.~2024.07.) · 셀프 플라즈마 챔버 및 50amu 급 질량분석기 개발, 한국산업기술평가관리원(2022.10.~2026.12.)
논문 및 특허
· 플라즈마 아킹 조기 검출 방법 및 이를 이용한 아킹 억제 시스템(특허) · 유도결합 플라즈마 내에서 독립적인 플라즈마 이온 에너지의 제어가 가능한 안테나 시스템(특허) · DIAGNOSTIC METHOD AND APPARATUS FOR NON-INVASIVE PLASMA PROCESS(특허)
직책 및 경력
· 한국진공학회 운영총무이사, 전) 플라즈마분과회장 · 전) 한국정보디스플레이학회 장비분과회장 · 전) 한국표준과학연구원 선임연구원
관련 링크
- 특허 검색하기https://connect.cnu.ac.kr/patents
- 보유 장비 보러가기https://url.kr/pzsdk4
